Отчет

Отчет по измерению уровней вибрации фундамента участка электронной литографии

Средства измерения:

Виброанализатор многофункциональный МВК зав № 050

Сертификат калибровки № 1304345 от 30 апреля 2013г. ФБУ ”Тест-С.Петербург”.

Цель работы

Измерение фоновых уровней вибрации в помещении 115 участка электронной литографии в целях определения механических колебаний на фундаменте для установки прибора EBPG5000.

Условия проведения измерений.

Измерения выполнялись при нормальных условиях при типовой схеме работы вспомогательного оборудования (вентиляция и технологическое оборудование).

Схема точек замера вибрации

Рис.1

Результаты измерений:

Измерения выполнялись в 3 точках - на фундаменте для установки прибора EBPG5000 (точки 1, 2) и на полу (точка 4). При измерениях фиксировались уровни вибрации в вертикальном, горизонтально-поперечном и горизонтально-продольном направлениях.

Схема размещения точек установки вибропреобразователей приведена в Приложении 1 на рис.П1.1.

В качестве контролируемых параметров механических колебаний использовались среднеквадратическое значение виброскорости Ve в диапазоне частот (1-1000)Гц в мкм/c и размах (двойная амплитуда) виброперемещения 2S в диапазоне частот (1-1000)Гц в нм, а также спектры виброперемещения.

Измеренные параметры вибрации приведены в Приложении 1 в таблице П1.1 и на рис.П2.1-П2.3, рис.П3.1-П3.3, рис.П4.1-П4.3, рис.П5.1-П5.3, рис.П6.1-П6.3, рис.П7.1-П7.3.

В таблице П1.1 приведены следующие параметры вибрации.

2S – размах (двойная амплитуда) виброперемещения в диапазоне частот (1-1000)Гц в нм.

F – частоты характерных составляющих спектра механических колебаний с наибольшими амплитудами в Гц.

На рис.П2.1-П2.3, рис.П3.1-П3.3, рис.П4.1-П4.3 приведены графики спектров виброперемещения в точках измерения 1,2 и 4, соответственно.

На графиках спектров виброперемещения ось ОХ соответствует частоте механических колебаний в Гц, а ось OY размаху (двойной амплитуде) механических колебаний в нм.

Значение частоты в статусной строке в верхней части графика соответствует частоте максимальной гармонической составляющей в Гц спектра виброперемещения.

На рис.П5.1-П5.3, рис.П6.1-П6.3, рис.П7.1-П7.3 приведены графики спектров виброскорости в точках измерения 1,2 и 4, соответственно.

На графиках спектров виброскорости ось ОХ соответствует частоте механических колебаний в Гц, а ось OY виброскорости механических колебаний в мкм/c.

Значение частоты в статусной строке в верхней части графика соответствует частоте максимальной гармонической составляющей в Гц спектра виброскорости.

Заключение:

1. Среднеквадратическое значение виброскорости Ve на фундаменте для установки прибора EBPG5000 составляет в вертикальном направлении (15.7-16.6) мкм/с, в продольном и поперечном направлениях (6.6-8.4) мкм/с.

2. Частоты характерных составляющих спектра механических колебаний с наибольшими амплитудами составляют 16.4 Гц, 24.6Гц, 49.9Гц.

3. Уровни вибрации в вертикальном направлении на полу и фундаменте для установки прибора EBPG5000 практически одинаковы, что указывает на неработоспособность виброизоляции фундамента прибора EBPG5000.

4. Наблюдается усиление вибрации в поперечном и продольном направлениях на фундаменте для установки прибора EBPG5000 относительно пола, что указывает на наличие возможных резонансных колебаний по указанным направлениям.

Таблица П1.1

Параметры вибрации в точках установки вибропреобразователей

Рис.П2.1. Точка 1. Поперечное направление. Спектр виброперемещения.

Рис.П2.2. Точка 1. Продольное направление. Спектр виброперемещения.

Остальные спектры можно увидеть в файле отчета.