Средства измерения:
Виброанализатор многофункциональный МВК зав № 050
Сертификат калибровки № 1304345 от 30 апреля 2013г. ФБУ ”Тест-С.Петербург”.
Цель работы
Измерение фоновых уровней вибрации в помещении 115 участка электронной литографии в целях определения механических колебаний на фундаменте для установки прибора EBPG5000.
Условия проведения измерений.
Измерения выполнялись при нормальных условиях при типовой схеме работы вспомогательного оборудования (вентиляция и технологическое оборудование).
Схема точек замера вибрации
Рис.1
Результаты измерений:
Измерения выполнялись в 3 точках - на фундаменте для установки прибора EBPG5000 (точки 1, 2) и на полу (точка 4). При измерениях фиксировались уровни вибрации в вертикальном, горизонтально-поперечном и горизонтально-продольном направлениях.
Схема размещения точек установки вибропреобразователей приведена в Приложении 1 на рис.П1.1.
В качестве контролируемых параметров механических колебаний использовались среднеквадратическое значение виброскорости Ve в диапазоне частот (1-1000)Гц в мкм/c и размах (двойная амплитуда) виброперемещения 2S в диапазоне частот (1-1000)Гц в нм, а также спектры виброперемещения.
Измеренные параметры вибрации приведены в Приложении 1 в таблице П1.1 и на рис.П2.1-П2.3, рис.П3.1-П3.3, рис.П4.1-П4.3, рис.П5.1-П5.3, рис.П6.1-П6.3, рис.П7.1-П7.3.
В таблице П1.1 приведены следующие параметры вибрации.
2S – размах (двойная амплитуда) виброперемещения в диапазоне частот (1-1000)Гц в нм.
F – частоты характерных составляющих спектра механических колебаний с наибольшими амплитудами в Гц.
На рис.П2.1-П2.3, рис.П3.1-П3.3, рис.П4.1-П4.3 приведены графики спектров виброперемещения в точках измерения 1,2 и 4, соответственно.
На графиках спектров виброперемещения ось ОХ соответствует частоте механических колебаний в Гц, а ось OY размаху (двойной амплитуде) механических колебаний в нм.
Значение частоты в статусной строке в верхней части графика соответствует частоте максимальной гармонической составляющей в Гц спектра виброперемещения.
На рис.П5.1-П5.3, рис.П6.1-П6.3, рис.П7.1-П7.3 приведены графики спектров виброскорости в точках измерения 1,2 и 4, соответственно.
На графиках спектров виброскорости ось ОХ соответствует частоте механических колебаний в Гц, а ось OY виброскорости механических колебаний в мкм/c.
Значение частоты в статусной строке в верхней части графика соответствует частоте максимальной гармонической составляющей в Гц спектра виброскорости.
Заключение:
1. Среднеквадратическое значение виброскорости Ve на фундаменте для установки прибора EBPG5000 составляет в вертикальном направлении (15.7-16.6) мкм/с, в продольном и поперечном направлениях (6.6-8.4) мкм/с.
2. Частоты характерных составляющих спектра механических колебаний с наибольшими амплитудами составляют 16.4 Гц, 24.6Гц, 49.9Гц.
3. Уровни вибрации в вертикальном направлении на полу и фундаменте для установки прибора EBPG5000 практически одинаковы, что указывает на неработоспособность виброизоляции фундамента прибора EBPG5000.
4. Наблюдается усиление вибрации в поперечном и продольном направлениях на фундаменте для установки прибора EBPG5000 относительно пола, что указывает на наличие возможных резонансных колебаний по указанным направлениям.
Таблица П1.1
Параметры вибрации в точках установки вибропреобразователей
Направление Измерения |
Параметр вибрации |
Точка |
||
1 |
2 |
4 |
||
Вертикальное |
Ve, мкм/c |
15.7 |
16.2 |
16.6 |
2S, нм |
450 |
450 |
400 |
|
F,Гц |
16.6 24.7 |
16.4 24.6 |
16.5 24.5 |
|
Поперечное |
Ve, мкм/c |
8.3 |
7.6 |
2.9 |
2S, нм |
106 |
144 |
54 |
|
F,Гц |
24.6 49.9 |
24.4 49.9 |
24.6 49.9 |
|
Продольное |
Ve, мкм/c |
8.4 |
6.6 |
2.3 |
2S, нм |
96 |
94 |
32 |
|
F,Гц |
49.9 |
16.6 24.8 49.9 |
24.8 49.9 |
Рис.П2.1. Точка 1. Поперечное направление. Спектр виброперемещения.
Рис.П2.2. Точка 1. Продольное направление. Спектр виброперемещения.
Остальные спектры можно увидеть в файле отчета.
Телефон 8 (800) 300-57-52
E-mail ots@unit-service.ru
Головной офис в Санкт-Петербурге: 196135, ул. Гастелло, д. 28, офис 41.
Время работы с 9:00 до 18:00